（1）裝爐
     清洗工件同氣體氮化，但最好擦干或涼干再裝入爐內，以節省打弧時間。工件應均勻裝入爐內，工件之間，陰陽極之間必須間隔30mm以上，以免工件之間，兩極之間電流密度過大而致工件局部溫度過高。做好防滲，凡小于2mm的孔，縫隙必須屏蔽，試樣放置在能與工件溫度保持一致的位置上。
     在離子氮化中經常發生兩種異常輝光發射，有場致發射和電子發射，場致發射即為工件或氣隙存在小孔或小縫隙，或因油質溶化引起輝光集中，導致電流加大產生定點弧光，生成類似于電焊的效果，使工作無法進行。電子發射即為工件存在尖角或工件擺放不當，如兩件之間、陰陽極之間等距離太近，這些地方電流密度較大，當工作時如所給電流太大，則這些位置溫度迅速升高，電流密集于此處，也產生定點弧光，使工作無法進行。
（2）升溫及保溫
     首先關閉通氣閥，給真空泵及水冷電阻通冷卻水。啟動真空泵，打開蝶形閥，當真空度＜100Pa時，即可送高壓，緩慢進給占空比。當高壓到達800V時，爐內即可產生輝光放電。此時正常狀態為爐內跳躍飛逐的散弧，隨著飛弧的減少，逐漸加大占空比，當飛弧消失即向爐內緩慢充入氨氣，并關小真空泵蝶形閥，使爐內氣體流通率下降，以保證爐內溫度均勻，并隨溫度的升高，視所需氨量的變化逐漸加大供氨量。當感覺爐體溫度保持在50℃以下，并開始觀測爐內溫度，觀測時應首先停止電流供給，滅掉輝光。正常工件在滲氮時應為500～550℃間，此時在觀察孔可見工件為暗紅色，模糊可見工件輪廓，不能分辨部位，如齒輪不能看清齒形。如清晰看清工件，則工件溫度即為偏高，當工件到溫后，即調整修正供氨量、抽氣率、電流，使之保持平衡。在工作中觀察他們的變化，尤其是氨量與抽氣率之間保持一種平衡狀態，因為在高壓不變的狀態下，氣體密度決定了電流的大小，因而影響溫度。
（3）降溫
     保溫到預定時間后，開始向爐體內大量給冷卻水，當爐體完全冷卻后，即關閉蝶閥，停真空泵，停高壓，并向爐內大量供氨，待爐內充滿氨氣，即將氨氣供給降為微量，保持正壓。待爐內溫度降到180℃以下時，停氨氣，停冷卻水，重新啟動真空泵。抽至完全真空后，停真空泵，打開通氣閥，待爐內恢復常壓后吊開爐蓋交檢工件。